新能源清潔車間

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：13305346159一、詳細介紹

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：133053461591.光伏新能源硅晶片簡介

光伏新能源硅晶片是由硅材料加工而成的一個像鏡子一樣明亮的圓片，是生產半導體集成電路芯片的原材料。目前，微電子產業(yè)發(fā)展迅速，集成電路技術已進入0.18微米以下的時代極大地刺激了光伏新能源硅晶片的發(fā)展，大大提高了對光伏新能源硅晶片性能參數的要求。因此，光伏新能源硅晶片的發(fā)展前景十分樂觀。

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：133053461591.1 光伏新能源硅晶片的生產工藝

從大的方面來講，光伏新能源硅晶片生產包括硅單晶棒生產和光伏新能源硅晶片生產兩大部分，細分為以下幾道主要工序：

單晶棒生長-單晶棒切割檢測-外徑磨削-切片-倒角(圓邊)-研磨/研磨片檢測-蝕刻(化學蝕刻)LP-CVD AP-CVD 等工藝)-PTA熱處理-背損傷處理-拋光(ML粗拋、ML精拋-洗滌-質量檢驗-清潔包裝 從單晶棒生長到外徑磨削到硅單晶棒生產工藝，切片后的工藝為光伏新能源硅晶片生產工藝。以硅片廠為例，介紹了空調凈化系統和自動控制系統的設計方案。

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：133053461591.2 各生產工序環(huán)境控制要求

硅片廠生產4~6寸光伏新能源硅晶片，產量480萬片/年。本公司光伏新能源硅晶片用于制造分立器件、功率元件和特殊集成電路。

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：133053461592.空調凈化系統

空調凈化的設計與工藝布局和生產工藝緊密結合。不同類型和用途的工廠空調凈化系統各有特點。以下是光伏新能源硅晶片生產工藝的空調凈化系統方案。

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：133053461592.1 空調系統

1 切片室、倒角室、研磨室只有溫度控制要求，有風冷熱泵分體柜式空調(PAC)為了保證房間的溫度要求，室內機就近放置在車間內，連接風管，采用雙層百葉風口側送風方式；室外機放在屋頂上。切割室排氣量大，新風采用直接蒸發(fā)式熱泵屋頂空調S1-1和S1-2補充。車間有防塵要求，中效空氣過濾器設置在風冷熱泵分體柜式空調回風口(大氣塵計數效率:≥60%，對于≥1μm顆粒)，同一屋頂空調需要兩級過濾器。

原理圖見圖：




2 爐室、BSD室內只有溫度控制要求，有風冷電熱分體柜式空調(PAL)為了保證房間的溫度要求，室內機就近放置在車間內，連接風管，采用方形散流器頂部送風方式；室外機放置在屋頂上。新鮮空氣由相鄰的潔凈室正壓。車間有防塵要求，風冷電熱分體柜式空調出風口設置中效過濾器（大氣塵計數效率：≥60%，對于≥1μm粒子)。

3 磨片檢查室對溫濕度控制有要求，配有風冷電熱分體柜式空調(PAL)為保證室內溫度要求，室內機就近放置在車間內，連接風管，采用方形散流器頂部送風方式；室外機放置在屋頂上。新風通過新風機組(MAU-1、2）處理后，將送風管送至室內，相對濕度由新風機組保證。新風機組與凈化系統共用。車間有防塵要求。風冷電熱分體柜式空調回風口設有中效過濾器（大氣粉塵計數效率：≥60%，對于≥1μm顆粒)，新風機組內設置粗、中效過濾器。

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：133053461592.2 凈化系統

新風空調機組用于光伏新能源凈化工程系統(MAU)循環(huán)空調機組(AHU)的冷媒采用6-11℃冷凍水用0加熱.2MPa蒸汽，加濕0.1MPa清潔蒸汽加濕，清潔蒸汽由純水通過清潔蒸汽發(fā)生器產生。

1 CP室內凈化等級為7級，通風次數為30次/小時，CP室內工藝設備酸量大，采用全新風空調機組(MAU-3) 高效過濾器送風口(HEP-ABOX)空調方式。氣流流程為：新風入口-粗過濾器-中效過濾器-預加熱器-表面冷卻器-加熱器-清潔蒸汽加濕-送風機-送風管-高效過濾器送風-清潔區(qū)。

2 ML室內凈化水平為7級，通風次數為30次/小時，采用新風機組(MAU) 循環(huán)機組(AHU) 高效過濾器送風口(HEPABOX)空調方式。新風與其他系統共用MAU-1、2新風組。

3 CP/CVD室、LP/CVD潔凈包裝室凈化水平為6 級，換氣次數取為50次/小時，采用新風機組(MAU) 循環(huán)機組(AHU) 高效過濾器送風口(HEP-ABOX)空調方式。新風與其他系統共用MAU-1、2新風組。

4 7級、6 一級無塵室采用的氣流形式是頂部高效過濾器出風口，房間側下百葉窗出風口回風。氣流過程為：新回風混合！中效空氣過濾器-表面冷卻器-送風機-送風管-高效空氣過濾器出風口-潔凈區(qū)-房間側下百葉窗出風口-回風管-新回風混合。

5 質量檢驗室的凈化水平為7 采用新風機組(MAU) 循環(huán)機組(AHU) 風機過濾單元(FFU))空調方式。頂部采用氣流形式FFU送風，房間側下百葉風口回風。FFU滿布率為33%，洗凈室、質量檢驗室對NH4 、SQx循環(huán)機組需要濃度(AHU)增加化學過濾器。5級凈化室的氣流過程為：新回風混合化學過濾器(NH4 )-化學過濾器(SQx)-中效過濾器-表冷器-送風機-送風管-送風靜壓箱-風機過濾單元(FFU)-潔凈區(qū)-房間側下百葉窗回風口-回風管-新回風混合。新風與其他系統共用MAU-1、2新風組。

6 除CP室外潔凈室所需新風采用2臺新風機組(MAU-1.2)集中處理，新風集中處理后送至各循環(huán)機組(AHU)。氣流流程為：新風入口-粗過濾器-中效過濾器-預加熱器-表面冷卻器-加熱器-清潔蒸汽加濕-送風機-送風管-循環(huán)空調機組(AHU)。

7 CP室、ML房間和洗凈室的酸度相對較高，CP室、ML室內高效過濾器出風口的擴散板采用不銹鋼板制成，室內清洗FFU網板由不銹鋼板制成。

8 需要注意的是，質量檢驗室根據工藝要求采用黑色墻板、黑色頂板，相應采用黑色回風口，FFU網板需要黑色網板。

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：133053461593、凈化系統的空調自動控制

新風機組(MAU-1.2)變頻器由總送風管上的靜壓傳感器控制。接入每個風量和正壓控制循環(huán)機組(AHU)電動調節(jié)閥設置在新風管上，電動調節(jié)閥的開度由每個潔凈室的正壓值調節(jié)，使?jié)崈羰业恼龎褐挡浑S生產設備的排氣量而變化。電動調節(jié)閥的開度變化導致總送風管上的靜壓變化，并根據其設定值進行調節(jié)AHU-1、2風扇頻率，以達到控制的目的。

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：133053461593.1 凈化車間/無塵車間的溫濕度控制

無塵車間的濕度由新風機組凈化生產MAU-1.2確?？刂菩嘛L機組的送風狀態(tài)點，據送風狀態(tài)設定值調整干蒸汽加濕器電動執(zhí)行機構和表面冷卻器和加熱器回水管上電動二通閥的開度。露點溫度DPT檢查室內濕度敏感元件HE連續(xù)固定。無塵車間的凈化生產溫度由循環(huán)機組決定AHU表冷器回水管上的電動二通閥開度應根據室內溫度進行調整。

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：133053461593.2 冷卻系統控制

冷凍水系統采用一級泵，通過負載控制確定冷卻機組及相應水泵和冷卻塔的開啟臺數。供水和回水壓差根據設定供水和回水壓差自動控制，回水主管之間的壓差流量旁路閥。


新能源清潔車間

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：13305346159二、過濾效率：

大氣塵計數效率：≥60%，對于≥1μm粒子)

亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：13305346159三、產品特點：

目前，微電子產業(yè)發(fā)展迅速，集成電路技術已進入0.18微米以下的時代極大地刺激了光伏新能源硅晶片的發(fā)展，大大提高了對光伏新能源硅晶片性能參數的要求。


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亞太凈化，專業(yè)承接各行業(yè)車間無塵無菌凈化工程，電話：13305346159四、應用場所：

食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、物理化學實驗室、血站、細菌學、生物學、清潔實驗室、物理工程（基因重組、疫苗制備）等行業(yè)。

安徽空氣凈化工程有限公司是一家專注于無塵車間的公司GMP車間、無菌車間、潔凈實驗室、醫(yī)療手術室等凈化工程潔凈室系統的研發(fā)、設計、施工、升級、售后解決方案服務提供商。以安徽為基礎，服務全國，工程質量要求高，為客戶提供高質量的客戶服務，改善潔凈室環(huán)境，創(chuàng)造國內專業(yè)高端安全舒適的實驗室手術室環(huán)境，優(yōu)質品牌打造優(yōu)質工程，決心成為中國凈化工程行業(yè)的優(yōu)質品牌。